特許

J-GLOBAL ID：200903097487851328

感放射線性組成物

発明者： 新実 高明 ,  藤田 淳 ,  浦野 年由 ,  檜野 悦子 ,  横尾 敏明
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-134535
公開番号（公開出願番号）：特開平11-265060
出願日： 1998年04月28日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：

【要約】【課題】 感度、解像力及び耐熱性の良好な感放射線性組成物を提供する。【解決手段】 塗膜形成性樹脂、下記一般式(1)または(2)で表されるビススルホニルジアゾメタン化合物及び溶媒を含有することを特徴とする感放射線性組成物。【化1】(式中、R1 及びR3 は置換されていても良い直鎖状、分岐状又は環状アルキル基を、R2 はハロゲン原子、置換されても良いアルコキシ基、ニトロ基、シアノ基、ニトリル基又はアミド基を、R4 、R5 、R6 はそれぞれ独立に置換されていても良い直鎖状、分岐状又は環状アルキル基、ハロゲン原子、置換されていても良いアルコキシ基、ニトロ基、シアノ基、ニトリル基又はアミド基を表す。)

請求項（抜粋）：

塗膜形成性樹脂、下記一般式(1)または(2)で表されるビススルホニルジアゾメタン化合物を含有することを特徴とする感放射線性組成物。【化1】(式中、R1 及びR3 は置換されていても良い直鎖状、分岐状又は環状アルキル基を、R2 はハロゲン原子、置換されても良いアルコキシ基、ニトロ基、シアノ基、ニトリル基又はアミド基を、R4 、R5 、R6 はそれぞれ独立に置換されていても良い直鎖状、分岐状又は環状アルキル基、ハロゲン原子、置換されていても良いアルコキシ基、ニトロ基、シアノ基、ニトリル基又はアミド基を表す。)

IPC (2件)：

G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (3件)

• レジスト材料及びこれを用いたパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-049097   出願人：和光純薬工業株式会社, 松下電器産業株式会社
• 微細パターン形成材料及びパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-246324   出願人：和光純薬工業株式会社, 松下電器産業株式会社
• 特開平3-103854