特許
J-GLOBAL ID：200903097524374446
漏れ量計測装置、および漏れ検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石黒 健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-170045
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004481
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】【課題】 差圧方式での被検物1の漏れ量の検出能力を向上する。【解決手段】 被検物(ワーク)1を密に囲む被検物側容器2と、基準物(マスタ)3を気密的に囲む基準物側容器4と、これらの被検物側、基準物側容器2、4内を所定のテスト圧で加圧するテスト圧源5と、被検物側、基準物側容器2、4間の圧力差を検出する差圧センサ6と、この差圧センサ6にて検出した被検物側、基準物側容器2、4間の圧力差に基づいて被検物1の漏れ量を計測する漏れ量計測・漏れ検査手段7とから漏れ量計測装置・漏れ検査装置を構成した。このような漏れ量計測装置・漏れ検査装置において、差圧方式での漏れ量の検出能力が等価内容積(Ve)に反比例することに着目し、基準物側の密閉空間容積(Vm)を被検物側の密閉空間容積(Vw)よりも大きくすることで、等価内容積(Ve)を小さくして差圧方式での漏れ量の検出能力を向上させるようにした。
請求項（抜粋）：
(a)内部に被検物が入れられ、被検物側の密閉空間容積を有する被検物側容器と、(b)内部に基準物が入れられ、前記被検物側の密閉空間容積よりも大きい基準物側の密閉空間容積を有する基準物側容器と、(c)前記被検物内および前記基準物内に流体圧をそれぞれ与える圧力源と、(d)前記被検物側容器と前記基準物側容器との間の圧力差を検出する差圧センサと、(e)この差圧センサにて検出した圧力差に基づいて、前記被検物の漏れ量を検出する漏れ量検出手段とを備えた漏れ量計測装置。
Fターム (2件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (9件)
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