筐体洗浄方法および筐体洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工藤宣幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-227345
公開番号（公開出願番号）：特開2003-039028
出願日： 2001年07月27日
公開日（公表日）： 2003年02月12日
要約：

【要約】【課題】ウエハキャリア等の筐体を効率的に洗浄して、ゴミの発生も押さえる。【解決手段】純水を冷却して氷結させて微小氷粒とする氷粒製造手段4と、前記氷粒と高圧気体を混合してエアロゾル化する氷粒気体製造手段7と、この氷粒気体製造手段7で製造された氷粒気体と温純水を混合して平均温度0〜100°C、望ましくは10〜70°Cの温氷水を製造する温氷水製造手段8と、前記温氷水をウエハキャリアに噴出させて洗浄する温氷水洗浄手段9と、温氷水洗浄手段9を支持してウエハキャリアの内外側表面形状に沿って追従させる追従手段74と、40〜80°Cの温風をウエハキャリアの内外側表面に噴射する温風乾燥手段とを有し、温氷水をウエハキャリアの内外側表面に噴出させて洗浄する。純水の代わりに、加温した洗浄液に氷粒を混ぜて、ウエハキャリアの内外側表面に噴出させて洗浄してもよい。

請求項（抜粋）：

純水を用いて筐体を洗浄する筐体洗浄方法において、前記純水を所定の温度に加温して製造した温純水と前記純水を冷却して製造した氷粒とを混ぜて温氷水とし、この温氷水を筐体の内外側表面に沿って噴出させて洗浄することを特徴とする筐体洗浄方法。

IPC (6件)：

B08B 3/10 , B08B 3/02 , B08B 9/20 , F25C 1/00 , H01L 21/304 648 , H01L 21/304 651

FI (6件)：

B08B 3/10 Z , B08B 3/02 C , B08B 9/20 , F25C 1/00 A , H01L 21/304 648 E , H01L 21/304 651 Z

Fターム (13件)：

3B116AA26 , 3B116AB01 , 3B116BA06 , 3B116BB38 , 3B116BB82 , 3B116CC03 , 3B201AA26 , 3B201AB01 , 3B201BA06 , 3B201BB38 , 3B201BB82 , 3B201BB92 , 3B201CC12

引用特許：

審査官引用 (14件)

洗浄剥離媒体流の形成方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-239396 出願人：澁谷工業株式会社, シブヤマシナリー株式会社
電子回路基板の洗浄方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-256084 出願人：株式会社不二精機製造所
特開平3-008326

全件表示

前のページに戻る