特許
J-GLOBAL ID:200903097551703540
水からの有機不純物除去方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
宮崎 昭夫
, 石橋 政幸
, 岩田 慎一
, 緒方 雅昭
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-535349
公開番号(公開出願番号):特表2005-538827
出願日: 2003年09月12日
公開日(公表日): 2005年12月22日
要約:
健康への密接な関連に加えて、トリハロメタン(THM)は、このような不純物を許容することができないエレクトロニクス産業にとっても解決すべき課題を提起する。エレクトロニクス産業で使用される高純度水からTHMを除去する方法が提供される。本発明の方法は、高純度水を膜脱気装置(13)と接触させることを含み、この水は膜と接触する前に脱イオン処理(10、11)されており、また、この水は膜と接触する前に、雰囲気温度を超える温度、好ましくは実質的に45°Cに加熱されている。
請求項(抜粋):
- 水系をコンタクタ膜と接触させるステップ、その間に同時に
- 前記膜に圧力差を加えて前記水系の水から前記膜を通してTHMを取り出すステップ、
- 精製された水を回収するステップ
を含む、または包含し、
前記膜と接触する前の前記水が脱イオン処理されており、また
前記膜と接触する前の、脱イオン処理後の前記水が、雰囲気温度を超え、前記膜が分解する温度よりは低い温度に加熱されている、
水系からTHMを除去する方法。
IPC (12件):
C02F1/20
, B01D19/00
, B01D61/00
, B01D61/42
, B01D61/58
, B01D63/02
, B01D71/26
, C02F1/32
, C02F1/42
, C02F1/44
, C02F1/469
, C02F9/00
FI (22件):
C02F1/20 A
, B01D19/00 H
, B01D19/00 101
, B01D61/00
, B01D61/42
, B01D61/58
, B01D63/02
, B01D71/26
, C02F1/32
, C02F1/42 B
, C02F1/44 J
, C02F9/00 502A
, C02F9/00 502E
, C02F9/00 502F
, C02F9/00 502J
, C02F9/00 502L
, C02F9/00 502N
, C02F9/00 503B
, C02F9/00 504B
, C02F9/00 504D
, C02F9/00 504E
, C02F1/46 103
Fターム (51件):
4D006GA03
, 4D006GA17
, 4D006GA32
, 4D006HA01
, 4D006HA61
, 4D006JA30
, 4D006KA01
, 4D006KA03
, 4D006KA51
, 4D006KA52
, 4D006KA72
, 4D006KA84
, 4D006KB11
, 4D006KB13
, 4D006KB30
, 4D006KD17
, 4D006KE01R
, 4D006KE06R
, 4D006KE16R
, 4D006MA01
, 4D006MB03
, 4D006MB10
, 4D006MC23
, 4D006MC54
, 4D006PA01
, 4D006PB02
, 4D006PB70
, 4D006PC01
, 4D011AA17
, 4D011AC10
, 4D011AD03
, 4D011AD06
, 4D025AA04
, 4D025AB02
, 4D025BB04
, 4D025DA01
, 4D025DA06
, 4D037AA03
, 4D037AB14
, 4D037AB18
, 4D037BA18
, 4D037BA23
, 4D037BB07
, 4D037CA15
, 4D061DA02
, 4D061DB13
, 4D061DB18
, 4D061EA02
, 4D061FA03
, 4D061FA07
, 4D061FA08
引用特許: