微粒子の製造方法及び膜の形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-312504
公開番号（公開出願番号）：特開2001-129389
出願日： 1999年11月02日
公開日（公表日）： 2001年05月15日
要約：

【要約】【課題】金属酸化物微粒子の組成、結晶構造、形状及びサイズを制御することができ、単分散且つ乾燥状態であるナノサイズの金属酸化物微粒子を合成することができる微粒子の製造方法と、組成、結晶構造、形状及びサイズが制御された金属酸化物微粒子の合成と、基板上に均一な金属酸化物層を被膜する工程とを連続して行うことができる膜の形成方法を提供する。【解決手段】金属塩水溶液、金属アルコキシドアルコール水又はこれらの混合溶液であり、且つ超臨界状態になる液状物を、水熱反応温度まで急速に昇温し、水熱合成反応により金属酸化物微粒子を発生させ、更に超臨界状態に昇温して粒子径を制御した金属酸化物微粒子を含有した超臨界のスラリー状液を、過熱超臨界ノズル20から粉体回収装置70内に噴出させることにより、単分散且つ乾燥状態の金属酸化物微粒子を製造する。

請求項（抜粋）：

金属塩水溶液、金属アルコキシドアルコール水又はこれらの混合溶液であり、且つ超臨界状態になる液状物を、水熱反応温度まで急速に昇温し、水熱合成反応により金属酸化物微粒子を発生させ、更に超臨界状態に昇温して粒子径を制御した金属酸化物微粒子を含有した超臨界のスラリー状液を、過熱超臨界ノズルから粉体回収装置内に噴出させることにより、単分散且つ乾燥状態の金属酸化物微粒子を製造することを特徴とする微粒子の製造方法。

IPC (5件)：

B01J 19/00 , B01D 9/02 601 , B05B 1/24 , B05D 1/02 , B05D 7/24 303

FI (5件)：

B01J 19/00 N , B01D 9/02 601 A , B05B 1/24 , B05D 1/02 Z , B05D 7/24 303 B

Fターム (15件)：

4D075AA01 , 4D075EC08 , 4F033AA01 , 4F033HA01 , 4G075AA24 , 4G075AA27 , 4G075BB02 , 4G075BB08 , 4G075BD09 , 4G075CA02 , 4G075CA65 , 4G075CA66 , 4G075EA06 , 4G075EB01 , 4G075EC01

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-050105
バリウムフェライト微粒子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-200189 出願人：日産化学工業株式会社
特開平3-151039

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