特許

J-GLOBAL ID：200903097615856303

蒸着源及び蒸着装置

発明者： 阿川 義昭 ,  山本 佳宏 ,  茶谷原 昭義 ,  藤井 兼栄
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社 ,  茶谷原 昭義 ,  藤井 兼栄 ,  工業技術院長
代理人 (2件)： 石島 茂男 (外1名) ,  石島 茂男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-082702
公開番号（公開出願番号）：特開平11-256315
出願日： 1998年03月13日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：

【要約】【課題】薄膜を形成する際に用いる蒸着源が絶縁破壊に至るまでの時間を長くできる技術を提供する。【解決手段】本発明では、トリガ放電又は主放電によって蒸着材料の構成粒子21が飛散する際に、トリガ電極12と蒸着材料11とを絶縁する絶縁部材13の沿面に、蒸着材料11から放出され、直線的に飛来する蒸着材料の構成粒子21が到達できない非付着面13bが設けられるように構成されている。この非付着面13bには、蒸着材料の構成粒子21は直接的には堆積しないので、トリガ電極12と蒸着材料11との間に蒸着材料の構成粒子21が付着することで絶縁耐圧が低下し、ひいては絶縁破壊が生じて蒸着源10が使用できなくなるまでの時間を従来に比して長くすることが可能になる。

請求項（抜粋）：

カソード電極と、前記カソード電極に取り付けられた蒸着材料と、前記蒸着材料と密着して設けられた絶縁部材と、前記蒸着材料とは非接触の状態で前記絶縁部材に密着配置されたトリガ電極と、前記蒸着材料近傍に配置されたアノード電極とを有し、前記アノード電極と前記カソード電極との間に電圧を印加した状態で、前記トリガ電極に電圧を印加すると、該トリガ電極と前記蒸着材料との間にトリガ放電が発生し、前記蒸着材料と前記アノード電極との間にアーク放電が誘起され、前記蒸着材料の構成粒子を放出させるように構成された蒸着源であって、前記絶縁材の沿面には、前記蒸着材料から放出され、直線的に飛来する前記蒸着材料の構成粒子が到達できない非付着面が設けられたことを特徴とする蒸着源。

IPC (3件)：

C23C 14/24 ,  H01F 41/20 ,  H01L 21/203

FI (3件)：

C23C 14/24 F ,  H01F 41/20 ,  H01L 21/203 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 薄膜形成装置および薄膜形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-347430   出願人：工業技術院長
• 特開平2-301557