特許
J-GLOBAL ID：200903097628124611
原子間力と電気容量とを同時に検出するための原子間力顕微鏡用プローブおよびその製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-266500
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120482
出願日： 1993年10月25日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：
【要約】【目的】簡単な構成でありながら、精度よく試料の電荷分布を検出することのできるプローブを提供する。【構成】針部1bと、針部1bが受けた原子間力によって撓みを生じる可撓性のプレート部1aと、支持体1cとを有するプローブにおいて、プレート部1aおよび支持体1cの上には、針部1bの導電材料に電荷を供給し電位を検出するために、導電膜1dが配置されている。導電膜1dは、支持体1c上の一部のみに配置されている。
請求項（抜粋）：
試料からの原子間力を受けるための針部と、前記針部を支持し、前記針部が受けた原子間力によって撓みを生じる可撓性のプレート部と、前記プレート部を支持する支持体とを有するプローブにおいて、前記針部は、少なくとも先端部が導電材料で構成され、前記プレート部および前記支持体は、絶縁材料で構成され、前記プレート部および前記支持体の上には、導電膜が配置され、前記プレート部上の導電膜と前記支持体上の導電膜は、前記針部の導電材料に電荷を供給し電位を検出するために、電気的に導通し、前記支持体の上の導電膜は、前記支持体上の一部のみに配置されていることを特徴とするプローブ。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
