特許

J-GLOBAL ID：200903097697416870

インプリントリソグラフィ

発明者： ウイスター,サンダー,フレデリック ,  ディクスマン,ヨハン,フレデリック ,  クルイト-ステージマン,イボンヌ,ウェンデラ ,  シュラム,アイヴァー
出願人/特許権者： エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.
代理人 (3件)： 稲葉 良幸 ,  大賀 眞司 ,  大貫 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-123276
公開番号（公開出願番号）：特開2007-307899
出願日： 2007年05月08日
公開日（公表日）： 2007年11月29日
要約：

【課題】インプリントテンプレートを作成する方法。【解決手段】インプリントテンプレート44を作成する方法は、基板30に転写層を設け、転写層にインプリント可能な媒体36の層を設け、パターンをインプリント可能な媒体にインプリントするためにマスタインプリントテンプレート38を使用し、インプリント可能な媒体を化学線で露光することによって、インプリント可能な媒体を重合し、次にインプリントされたパターンが基板に転写されるように、得られたポリマ層、転写層および基板をエッチングすることからなり、それによって基板がマスタインプリントテンプレートに設けられたパターンの逆であるパターンを担持するインプリントテンプレートになる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

基板に転写層を設け、 前記転写層にインプリント可能な媒体の層を設け、 前記インプリント可能な媒体にパターンをインプリントするためにマスタインプリントテンプレートを使用し、 前記インプリント可能な媒体を化学線で露光することによって、前記インプリント可能な媒体を重合し、 インプリントされたパターンが前記基板に転写されるように、得られたポリマ層、前記転写層および前記基板をエッチングし、それにより前記基板が前記マスタインプリントテンプレートに設けられたパターンの逆であるパターンを担持するインプリントテンプレートになる、 インプリントテンプレートを作成する方法。

IPC (3件)：

B29C 59/02 ,  H01L 21/027 ,  B29C 33/38

FI (3件)：

B29C59/02 B ,  H01L21/30 502D ,  B29C33/38

Fターム (23件)：

4F202AF01 ,  4F202AG01 ,  4F202AG05 ,  4F202AJ02 ,  4F202AJ09 ,  4F202CA19 ,  4F202CD05 ,  4F202CD23 ,  4F202CD24 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AJ02 ,  4F209AJ03 ,  4F209AJ08 ,  4F209AJ09 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  5F046AA28

引用特許：

審査官引用 (1件)

• マイクロ構造及びナノ構造の複製及び転写
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-537842   出願人：ザボードオブトラスティーズオブザリーランドスタンフォードジュニアユニバーシティ