特許
J-GLOBAL ID：200903097737179418
化学吸着累積膜およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-176708
公開番号（公開出願番号）：特開平5-016286
出願日： 1991年07月17日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、化学吸着膜の累積膜及び累積方法に関し、取扱が容易で短時間で形成できる化学吸着累積膜及びその製造方法の提供を目的とする。【構成】 ガラス基板1上に塩化スルフリルを化学吸着した化学吸着単分子膜7上に、塩化スルフリルを空気中40°Cで3分間化学吸着し、化学吸着累積膜9を得た。従来のクロロシラン系界面活性剤を用いた化学吸着累積膜では、乾燥雰囲気が必須であり、吸着時間も20倍程度を要した。【効果】 従来の化学吸着剤を使用した場合よりも、本発明は化学吸着累積膜形成に際して取扱いが容易で、短時間で行え、従来技術よりも強固な化学吸着累積膜の形成が可能になる。
請求項（抜粋）：
膜とS原子を介した化学結合で累積したことを特徴とする化学吸着累積膜。
IPC (2件)：
引用特許：
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