品質管理システム、品質管理方法及びロット単位のウェハ処理方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：三好秀和 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 川又澄雄 , 中村友之 , 伊藤正和 , 高橋俊一 , 高松俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-109209
公開番号（公開出願番号）：特開2006-293433
出願日： 2005年04月05日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
要約：

【課題】不良ロットの見逃しを減少可能な品質管理システムを提供する。【解決手段】過去のロットのQC実測値を格納するQC値記憶部22と、対象ロットの処理装置10の装置内部情報を取得するデータ取得装置3と、装置内部情報を格納する装置内部情報記憶部21と、ウェハ内のサンプリング密度分布により分類した複数のレシピを格納するレシピ記憶部24と、装置内部情報と過去のロットのQC実測値とに基づいて、対象ロットのQC予測値を予測するQC値予測手段11と、QC予測値に基づいて対象ロットを構成する複数のウェハのうち測定対象となるサンプルウェハを決定するウェハ決定手段12と、QC予測値に基づいて複数のレシピからサンプルウェハに適用する適用レシピを選択するレシピ選択手段13と、適用レシピを用いてサンプルウェハに対してQC測定を行い、測定結果をQC値記憶部22に格納する測定装置4とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

過去のロットの品質管理実測値を格納する品質管理値記憶部と、対象とするロットの処理装置の装置内部情報をリアルタイムに取得するデータ取得装置と、前記装置内部情報を格納する装置内部情報記憶部と、ウェハ内のサンプリング密度の分布により分類した複数のレシピを格納するレシピ記憶部と、前記装置内部情報と前記過去のロットの品質管理実測値とを前記装置内部情報記憶部及び前記品質管理値記憶部からそれぞれ読み出し、該装置内部情報と品質管理実測値とに基づいて、前記対象とするロットの品質管理予測値を予測する品質管理値予測手段と、前記品質管理予測値に基づいて前記対象とするロットを構成する複数のウェハのうち測定対象となるサンプルウェハを決定するウェハ決定手段と、前記複数のレシピを前記レシピ記憶部から読み出し、該複数のレシピから前記品質管理予測値に基づいて前記サンプルウェハに適用する適用レシピを選択するレシピ選択手段と、前記適用レシピを用いて前記サンプルウェハに対して品質管理測定を行い、測定結果を前記品質管理値記憶部に格納する測定装置とを備えることを特徴とする品質管理システム。

IPC (2件)：

G05B 19/418 , H01L 21/02

FI (2件)：

G05B19/418 Z , H01L21/02 Z

Fターム (3件)：

3C100AA34 , 3C100BB27 , 3C100EE06

引用特許：

出願人引用 (1件)

品質管理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-035084 出願人：富士通株式会社, 富士通エルエスアイテクノロジ株式会社

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