自動合焦システムのための合焦用フィラメント

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳田征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-069136
公開番号（公開出願番号）：特開2000-284182
出願日： 2000年03月13日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】一つの平面に対するガラス検体の位置の変動を自動的に補正し得る絶対的表面基準を提供する。【解決手段】光源18と対物レンズ24との間の光路内に1本のフィラメント34を配置し、このフィラメント34を、ガラス検体12の表面14に合焦するように光路内に位置決めし、対物レンズ24の視野内にフィラメント34の像が映ったときに、対物レンズ24が合焦された表面14を特定する。

請求項（抜粋）：

少なくとも1個の光源および1個の対物レンズを備えた自動合焦システムの形成方法であって、前記光源と前記対物レンズとの間の光路内に1本のフィラメントを配置し、該フィラメントを、該フィラメントが検体の表面に合焦されて合焦用フィラメントとして機能するように前記光路内に位置決めし、前記表面を特定するために、前記対物レンズが前記表面上に合焦されたときに前記フィラメントの像を視野内に形成する、各工程を含むことを特徴とする前記方法。

IPC (3件)：

G02B 21/06 , G01N 21/958 , G02B 7/28

FI (3件)：

G02B 21/06 , G01N 21/958 , G02B 7/11 J

引用特許：

審査官引用 (8件)

特公昭62-019685
投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-228455 出願人：株式会社ニコン
顕微鏡装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-224001 出願人：ソニー株式会社

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