特許
J-GLOBAL ID：200903097796502664
レーザー加工装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-019915
公開番号（公開出願番号）：特開2006-205202
出願日： 2005年01月27日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：
【課題】 レーザー光線が照射されても発熱を抑えることができるチャックテーブルを備えたレーザー加工装置を提供する。【解決手段】 被加工物を吸着保持するチャックテーブル36と、チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段を具備するレーザー加工装置であって、チャックテーブルは静電チャック本体361と該静電チャック本体361に配設された電極362と該電極上に積層された被加工物保持部材363とを具備する静電チャックからなっており、被加工物保持部材363は所定の波長を有するレーザー光線に対して透過性を有する材料によって形成されている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
被加工物を吸着保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、該チャックテーブルと該レーザー光線照射手段とを相対的に加工送りする加工送り手段と、を具備するレーザー加工装置において、
該チャックテーブルは静電チャック本体と該静電チャック本体に配設された電極と該電極上に積層された被加工物保持部材とを具備する静電チャックからなっており、該被加工物保持部材は所定の波長を有するレーザー光線に対して透過性を有する材料によって形成されている、
ことを特徴とするレーザー加工装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
4E068AD01
, 4E068CA04
, 4E068CE09
, 4E068DA10
