特許

J-GLOBAL ID：200903097830265103

プリント基板の外観検査方法

発明者： 藤原 勝美
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-236287
公開番号（公開出願番号）：特開平9-079992
出願日： 1995年09月14日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【課題】 ビットマップ変換後の画像データサイズを削減し、かつ、ビットマップ変換に要する時間の短縮を図る。【解決手段】 プリント基板の撮影画像データを多数のセル画像データに分割し、多数のセル画像データの中から一つの判定対象セル画像データを抽出し、判定対象セル画像データに対応する部分的なベクトルデータを、プリント基板の設計ベクトルデータから切り出し、部分的なベクトルデータをビットマップ変換して部分的な基準画像データを生成し、判定対象セル画像データと部分的な基準画像データとを照合する。一つの判定対象セル画像データに対応する部分的なベクトルデータだけをビットマップ変換するため、基準となる画像データのサイズを削減でき、かつ、変換に要する時間を大幅に短縮できる。

請求項（抜粋）：

プリント基板の設計ベクトルデータをビットマップ変換して基準画像データを生成し、前記プリント基板の撮影画像データと該基準画像データとを照合して前記プリント基板上のパターン欠陥を判定する外観検査方法において、前記撮影画像データを多数のセル画像データに分割し、該多数のセル画像データの中から一つの判定対象セル画像データを抽出し、該判定対象セル画像データに対応する部分的なベクトルデータを、前記設計ベクトルデータから切り出し、該部分的なベクトルデータをビットマップ変換して部分的な基準画像データを生成し、前記判定対象セル画像データと該部分的な基準画像データとを照合することを特徴とするプリント基板の外観検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  H05K 3/00

FI (2件)：

G01N 21/88 F ,  H05K 3/00 Q

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-269284
  
• 特開平4-034434
  
• 欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-274285   出願人：株式会社ニコン