特許

J-GLOBAL ID：200903097843000150

プローブ顕微鏡

発明者： 成田 貴人 ,  久田 秀穂 ,  宮島 達哉 ,  斎藤 修 ,  渡辺 伸一郎 ,  斎藤 臣也 ,  阿久津 耕二 ,  照山 晋 ,  大津 元一
出願人/特許権者： 日本分光株式会社 ,  科学技術振興事業団 ,  財団法人神奈川科学技術アカデミー
代理人 (1件)： 岩橋 祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-143519
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329678
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】 本発明の目的は、より信頼性の高い試料情報を得ることのできるプローブ顕微鏡を提供することにある。【解決手段】 試料112とプローブ試料側先端部118aの間の距離を近接させ、該試料112とプローブ試料側先端部118aの間に働く相互作用を検出し、該両者間に働く相互作用から試料112の表面情報を得るプローブ顕微鏡において、前記プローブ118は可撓性を有する針状プローブ118であり、該先端部118aが試料表面112と該先端部118aの間に働く相互作用の増減に応じた径を持つ円を描くように、該先端部118aを撓らせながらプローブ118を回転可能な加振手段122と、該相互作用によるプローブ試料側先端部118aが描く回転円径の増減を検出し、該回転円径の増減から該試料112とプローブ試料側先端部118aの間の距離情報を得る検出手段124と、を備えたことを特徴とするプローブ顕微鏡120。

請求項（抜粋）：

測定試料表面とプローブ試料側先端部の間の距離を近接させ、該測定試料表面とプローブ試料側先端部の間に働く相互作用を検出し、該両者間に働く相互作用から該測定試料の表面情報を得るプローブ顕微鏡において、前記プローブは可撓性を有する針状プローブであり、前記プローブ試料側先端部が、前記測定試料表面とプローブ試料側先端部の間に働く相互作用の増減に応じた径を持つ円を描くように、該試料側先端部を撓らせながら該プローブを回転可能な加振手段と、前記測定試料表面とプローブ試料側先端部の間に働く相互作用によるプローブ試料側先端部が描く回転円径の増減を検出し、該回転円径の増減から該測定試料表面とプローブ試料側先端部の間の距離情報を得る検出手段と、を備えたことを特徴とするプローブ顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N 13/16 ,  G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30

FI (4件)：

G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 A ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z

Fターム (22件)：

2F063AA43 ,  2F063CA09 ,  2F063DA01 ,  2F063DB05 ,  2F063DC08 ,  2F063DD02 ,  2F063EA16 ,  2F063FA07 ,  2F063JA04 ,  2F063LA05 ,  2F063ZA02 ,  2F069AA60 ,  2F069DD19 ,  2F069GG04 ,  2F069GG52 ,  2F069GG59 ,  2F069GG62 ,  2F069HH02 ,  2F069JJ14 ,  2F069LL03 ,  2F069MM21 ,  2F069MM34