特許

J-GLOBAL ID：200903097844448456

基体の表面処理組成物及び表面処理方法

発明者： 森永 均 ,  藤末 昌也
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-243859
公開番号（公開出願番号）：特開平9-067688
出願日： 1995年08月30日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【目的】 表面処理組成物から基体表面への金属不純物の汚染を防止し、安定的に極めて清浄な基体表面を達成する事ができる表面処理組成物及びそれを用いた基体の表面処理方法を提供する。【解決手段】 液媒体中に金属付着防止剤として錯化剤を含有する表面処理組成物において、該錯化剤は、(A群)分子構造中に環状骨格を有し、且つ該環を構成する炭素原子に結合したOH基及び/又はO-基を1つ以上有する錯化剤(例えば、タイロン、カテコール)、及び(B群)分子構造中にドナー原子であるハロゲン、硫黄若しくは炭素原子を1つ以上有する錯化剤(例えば、HF,HCl)の各群から各々少なくとも1種選ばれる錯化剤からなる表面処理組成物及びこの表面処理組成物を用いる基体の表面処理方法。

請求項（抜粋）：

液媒体中に金属付着防止剤として錯化剤を含有する表面処理組成物において、該錯化剤は、(A群)分子構造中に環状骨格を有し、且つ該環を構成する炭素原子に結合したOH基及び/又はO-基を1つ以上有する錯化剤、及び(B群)分子構造中にドナー原子であるハロゲン、硫黄若しくは炭素から選ばれる少なくとも1種の原子を1つ以上有する錯化剤の各群から各々少なくとも1種選ばれる錯化剤からなる事を特徴とする基体の表面処理組成物。

IPC (3件)：

C23G 5/02 ,  C09K 3/00 108 ,  H01L 21/304 341

FI (3件)：

C23G 5/02 ,  C09K 3/00 108 B ,  H01L 21/304 341 L