特許
J-GLOBAL ID：200903097883778676
荷電粒子光学鏡筒における非点収差の補正及び焦点合わせ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-237456
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082257
出願日： 1995年09月14日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】荷電粒子顕微鏡及び、それを用いた観察において、試料の表面形状にによらず、高精度に非点収差補正及び焦点合わせを可能にすること。【解決手段】この発明の荷電粒子光学鏡筒における非点収差の補正及び焦点合わせ方法は、試料上を荷電粒子を走査して得られる像のフーリエ変換レンズの焦点距離の異なる設定において求め、両者の違いからビームの断面形状を判定し、それに基づき非点収差補正及び焦点合わせを行うものである。
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビームを試料上に二次元的に走査して得られる二次粒子信号を、対物レンズの焦点距離が異なる少なくとも二種類の設定において、抽出する第1のステップと、上記第1のステップで抽出された各二次粒子信号の二次元空間でのフーリエ変換をI(kx,ky) ,I′(kx,ky) と定義する第2のステップと、上記第2のステップで定義されたI(kx,ky) ,I′(kx,ky) の各絶対値である|I(kx,ky) |,|I′(kx,ky) |の大小関係によって値が決定されるR(kx,ky) を算出する第3のステップと、上記第3のステップで算出されたR(kx,ky) のkx-ky 平面上での角度θ方向に対してexp(i2θ)又はexp(-i2θ)に比例する成分が、正の実数A,及び実数αに対して、Aexp(i(2θ+α))又はAexp(-i(2θ+α))と表される時のαから非点収差の方向を決定する第4のステップと、上記実数Aを最小にするようにスティグマタを調整する第5のステップと、を有することを特徴とする荷電粒子光学鏡筒における非点収差の補正方法。
IPC (3件)：
H01J 37/21
, G01R 31/302
, H01J 37/153
H01J 37/21 B
, H01J 37/153 B
, G01R 31/28 L
