特許
J-GLOBAL ID:200903097933291501
3次元形状計測装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
倉田 政彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-014622
公開番号(公開出願番号):特開平11-211443
出願日: 1998年01月27日
公開日(公表日): 1999年08月06日
要約:
【要約】【課題】物体を移動させて位相シフト法により物体の高さを測定する3次元形状計測装置を提供すると共に、物体の移動に伴う照明の入射角度の変化による死角を防止し、精度を維持する。【解決手段】移動する測定物体1の3次元形状を計測する装置において、測定物体1の移動方向に所定の周期の正弦波パターン状の光強度分布を有する略平行光な照明を測定物体1に上方から照射する照明手段(光源3、レンズ4、フィルタ5)と、測定物体1を撮像する撮像手段(カメラ6、レンズ7)と、測定物体1が少なくとも4通りの位相(好ましくは位相0、π/2、π、3π/2)に相当する距離移動する毎に撮像された画像を格納する画像メモリと、画像メモリ内の画像から位相シフト法により高さを求める演算手段とを設けた。
請求項(抜粋):
移動する測定物体の3次元形状を計測する装置において、測定物体の移動方向に所定の周期の正弦波パターン状の光強度分布を有する略平行光の照明を測定物体に上方から照射する照明手段と、測定物体を撮像する撮像手段と、測定物体が少なくとも4通りの位相に相当する距離移動する毎に撮像された画像を格納する画像メモリと、画像メモリ内の画像から位相シフト法により高さを求める演算手段とを具備することを特徴とする3次元形状計測装置。
IPC (3件):
G01B 11/30
, G01B 11/24
, G01B 21/00
FI (5件):
G01B 11/30 C
, G01B 11/24 G
, G01B 11/24 H
, G01B 11/24 M
, G01B 21/00 H
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開平4-098111
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物体の三次元形状計測方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-192452
出願人:富士ファコム制御株式会社, 富士電機株式会社
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