特許
J-GLOBAL ID：200903097962267784

光学素子保持装置、鏡筒及び露光装置並びにデバイスの製造方法

発明者：
柴崎 祐一

柴崎 祐一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-298317
公開番号（公開出願番号）：特開2003-107311
出願日： 2001年09月27日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：
【要約】【課題】光学素子を高精度に駆動でき、光学素子への微小振動の伝達を効率よく抑制可能な光学素子保持装置及び鏡筒、スループット及び露光精度の高い露光装置、微細なデバイスを歩留まりよく製造可能なデバイスの製造方法を提供する。【解決手段】光学素子保持装置のインナリング部44aに板バネ88の一端を固定する。その板バネ88の他端を、前記光学素子保持装置のアウタリング部44bに固定されるベースリング45に対して、同じくアウタリング部44bに固定されるバネ受け68内に装着されたコイルバネ98の付勢力により前記ベースリング45側に付勢させた状態で摺接させる。この摺接により、前記板バネ88と前記ベースリング45との間に、可動レンズを移動させるべくアクチュエータからインナリング部44aに伝達される駆動力を阻害しない程度の摩擦力を発生させる。
請求項（抜粋）：
光学素子の周縁部を保持する保持部と、前記保持部に連結される連結部と、前記連結部に対して前記保持部を移動させることにより、前記光学素子を移動させる素子駆動機構と、前記連結部を介して前記保持部に伝達される外部環境の振動を吸収する振動吸収機構とを備えたことを特徴とする光学素子保持装置。
IPC (7件)：
G02B 7/02 ,  G02B 7/00 ,  G02B 7/04 ,  G02B 7/08 ,  G03B 5/06 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027
FI (10件)：
G02B 7/02 B ,  G02B 7/02 A ,  G02B 7/02 C ,  G02B 7/00 B ,  G02B 7/08 B ,  G03B 5/06 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 503 F ,  G02B 7/04 E
Fターム (30件)：
2H043AB07 ,  2H043AB10 ,  2H043AB18 ,  2H043AB30 ,  2H043AB36 ,  2H044AA04 ,  2H044AA09 ,  2H044AA11 ,  2H044AA15 ,  2H044AA16 ,  2H044AA17 ,  2H044AA19 ,  2H044AB06 ,  2H044AB07 ,  2H044AB17 ,  2H044AB22 ,  2H044AB24 ,  2H044AB25 ,  2H044AC01 ,  2H044AC03 ,  2H044BE04 ,  2H044BE06 ,  2H044BE10 ,  2H044BE20 ,  2H044DB04 ,  2H044DD00 ,  5F046AA23 ,  5F046BA03 ,  5F046CB12 ,  5F046CB20
引用特許：
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM