特許
J-GLOBAL ID:200903097967825645
レーザ走査装置及びハッチコーミング検出装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山田 恒光 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-237098
公開番号(公開出願番号):特開2001-059866
出願日: 1999年08月24日
公開日(公表日): 2001年03月06日
要約:
【要約】【課題】 広い範囲を効率よく走査することができるレーザ走査装置及びハッチコーミング検出装置を提供する。【解決手段】 レーザ光Lを下方へ向かって照射する回動ミラー34を、第1のサーボモータ35により回動ミラー34の反射面33に入射するレーザ光Lの光軸を中心として揺動させるとともに、第2のサーボモータ36により回動ミラー34の反射面33に入射するレーザ光Lの光軸に対して略垂直に交わる軸を中心として回転させ、レーザ光Lを広い範囲にわたって連続的に高速走査し、また回動ミラー34を略水平方向へ適宜移動させてハッチコーミング13の各部位へレーザ光Lを照射する。
請求項(抜粋):
レーザ発振器から出射されるレーザ光が反射面に斜入射し且つレーザ光を下方へ向かって照射し得る回動ミラーと、反射面に入射するレーザ光の光軸を中心として回動ミラーを揺動させる第1のサーボモータと、反射面に入射するレーザ光の光軸に対して略垂直に交わる軸を中心として回動ミラーを回転させる第2のサーボモータと、反射面に入射するレーザ光の光軸を中心とした回動ミラーの揺動位置を検出する第1の位置検出器と、反射面に入射するレーザ光の光軸に対して略垂直に交わる軸を中心とした回動ミラーの回転位置を検出する第2の位置検出器と、反射面に入射するレーザ光の光軸を中心とした回動ミラーの回動データ信号に基づき第1のサーボモータを作動させ且つ反射面に入射するレーザ光の光軸に対して略垂直に交わる軸を中心とした回動ミラーの回動データ信号に基づき第2のサーボモータを作動させるモータコントローラとを備えたことを特徴とするレーザ走査装置。
IPC (3件):
G01S 7/48
, G01B 11/14
, G01S 17/42
FI (3件):
G01S 7/48 A
, G01B 11/14 Z
, G01S 17/42
Fターム (14件):
2F065AA03
, 2F065AA06
, 2F065GG04
, 2F065LL62
, 2F065QQ51
, 5J084AA04
, 5J084AA05
, 5J084AB02
, 5J084BA03
, 5J084BA11
, 5J084BB21
, 5J084BB28
, 5J084CA53
, 5J084EA40
引用特許:
審査官引用 (3件)
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アンローダ設備
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-350699
出願人:石川島播磨重工業株式会社
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特開昭53-018337
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特開昭53-018337
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