特許
J-GLOBAL ID：200903097970449875
有機電界発光素子及びその製造方法及びその透明電極成膜方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-332572
公開番号（公開出願番号）：特開2007-141602
出願日： 2005年11月17日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：
【課題】基板に支持された電極膜、有機発光膜を含む有機薄膜と、電子注入性保護膜、透明電極膜とその順で成膜を行うトップエミッション型の有機電界発光素子の透明電極成膜方法において、有機発光膜を含む有機薄膜が大きなダメージを受けず、スパッタプロセスを用いず、低エネルギープロセスである蒸着法により、低抵抗で、透明性のある透明電極膜を形成する透明電極成膜方法を提供すること。【解決手段】有機発光膜を含む有機薄膜上に形成した電子注入性保護膜の上方に、インジウムと錫若しくは亜鉛からなる合金膜を真空蒸着法にて形成した後、グロー放電により発生した酸素プラズマを照射し合金膜を酸素プラズマ処理することで、合金膜がストイキオメトリー(化学量論:実際の化合物の組成が化学式通りになっている状態)を満足し、組成が主として酸化インジウムからなる酸化物焼結体と同一となる透明電極膜を形成する有機電界発光素子の透明電極成膜方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板に支持された電極膜、有機発光膜を含む有機薄膜と、電子注入性保護膜、透明電極膜とその順で成膜を行うトップエミッション型の有機電界発光素子の透明電極成膜方法において、
有機発光膜を含む有機薄膜上に形成した電子注入性保護膜の上方に、インジウムと錫若しくは亜鉛からなる合金膜を真空蒸着法にて形成した後、合金膜を酸素プラズマ処理することで、合金膜がストイキオメトリー(化学量論:実際の化合物の組成が化学式通りになっている状態)を満足し、組成が主として酸化インジウムからなる酸化物焼結体と同一となる透明電極膜を形成することを特徴とする有機電界発光素子の透明電極成膜方法。
IPC (3件)：
H05B 33/10
, H01L 51/50
, H05B 33/02
H05B33/10
, H05B33/14 A
, H05B33/02
3K007AB18
, 3K007CA06
, 3K007CB01
, 3K007DB03
, 3K007FA00
, 3K007FA01
