特許

J-GLOBAL ID：200903097981711474

XYステージ装置

発明者： 杉峰 正信 ,  小梁川 靖 ,  冨田 良幸 ,  牧野 健一
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-231708
公開番号（公開出願番号）：特開平9-074734
出願日： 1995年09月08日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：

【要約】【課題】 高速移動及び精密な位置決めが可能なXYステージ装置を提供する。【解決手段】 支持部材と、仮想的な可動面内で平行移動可能に、前記支持部材に取り付けられたステージ部材と、前記可動面に平行な仮想平面の両側で、前記仮想平面に関して対称な駆動力を発生し、前記ステージ部材に前記可動面内の駆動力を印加する第1のリニアモータとを有する。

請求項（抜粋）：

支持部材と、仮想的な可動面内で平行移動可能に、前記支持部材に取り付けられたステージ部材と、前記可動面に平行な仮想平面の両側で、該仮想平面に関して対称な駆動力を発生し、前記ステージ部材に前記可動面内の推力を与える第1のリニアモータとを有するXYステージ装置。

IPC (2件)：

H02K 41/03 ,  H02P 7/00 101

FI (2件)：

H02K 41/03 A ,  H02P 7/00 101 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• XYステージ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-191040   出願人：日本電気株式会社
• 特開昭62-254681
  
• 特開昭55-139071