薄板材の測定方法および測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：岩橋文雄 , 坂口智康 , 内藤浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-010114
公開番号（公開出願番号）：特開2005-203661
出願日： 2004年01月19日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：

【課題】薄板材を保持するスピンドル内での中心位置のバラツキを抑え、高精度な測定を行うことができる、測定装置および方法を提供する。【解決手段】ウエハ5を第一の保持爪14bに接触させて厚さ方向を規正した後、第一の保持爪14bに接触させた状態でウエハ5を第一の保持爪14bがある方向へ移動させて第二の保持爪14aに接触させてウエハ5の中心位置を規正し、第二の保持爪14aに接触させた状態で更に第二の保持爪14aと対向する位置にある第三の保持爪11bをウエハ5に接触させてウエハ5を保持し、保持されたウエハ5を回転させながら測定センサー9をウエハ5の径方向に移動させ、ウエハ5表面の変位を測定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

薄板材を第一の保持爪に接触させて厚さ方向を規正した後、前記第一の保持爪に接触させた状態で前記薄板材を前記第一の保持爪がある方向へ移動させて第二の保持爪に接触させて前記薄板材の中心位置を規正し、前記第二の保持爪に接触させた状態で更に前記第二の保持爪と対向する位置にある第三の保持爪を前記薄板材に接触させて前記薄板材を保持し、前記保持された薄板材を回転させながら測定センサーを前記薄板材の径方向に移動させ、前記薄板材表面の変位を測定することを特徴とする薄板材の測定方法。

IPC (2件)：

H01L21/68 , H01L21/66

FI (3件)：

H01L21/68 G , H01L21/68 N , H01L21/66 J

Fターム (19件)：

4M106AA01 , 4M106BA20 , 4M106CA38 , 4M106CA47 , 4M106DJ02 , 4M106DJ06 , 4M106DJ32 , 5F031CA01 , 5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031HA24 , 5F031HA27 , 5F031HA30 , 5F031HA45 , 5F031KA02 , 5F031KA11 , 5F031MA33

引用特許：

出願人引用 (1件)

薄板材の移載方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-067407 出願人：松下電器産業株式会社

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