特許

J-GLOBAL ID：200903098017375178

移動シーケンスの決定方法

発明者： 吉田 幸司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-035964
公開番号（公開出願番号）：特開平10-303126
出願日： 1998年02月18日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】 訪問順序と走査方向の組み合わせとが混在する移動シーケンス問題を解くのは容易ではなく、今までは経験則では近似解を演算しているにすぎなかった。【解決手段】 複数の処理領域(n個のチップ領域)に対して、すべての処理領域を処理するための処理領域訪問順序(n!)および各々の処理領域における走査方向(m)の組み合わせ(mn)の移動シーケンスの中から、すべての処理領域を処理するための最適な移動シーケンスの解を求めるために、最適解の探索手法として遺伝的アルゴリズムを用いることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

対象物に形成された複数の処理領域に対して、該複数の処理領域を処理する訪問順序および各処理領域の走査方向を管理する移動シーケンスの決定方法において、前記処理領域の訪問順序と各処理領域の走査方向との組み合わせの移動シーケンスの中から、前記複数の処理領域を処理するための最適又は優良な移動シーケンスの解を求めるために、オペレーションズ・リサーチ的な手法及び進化的計算法の少なくともいづれか1つを用いることを特徴とする移動シーケンスの決定方法。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 7/22 ,  G06F 15/18 550 ,  H01L 21/02

FI (6件)：

H01L 21/30 516 B ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 7/22 H ,  G06F 15/18 550 C ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/30 518

引用特許：

審査官引用 (4件)

• リソグラフィ・システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-159686   出願人：株式会社ニコン
• 特開平4-288813
  
• 走査露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-307750   出願人：株式会社ニコン
• 特開平4-288813