特許
J-GLOBAL ID：200903098018392220

回折光学素子、回折光学素子を備えた光学系、回折光学素子の製造方法、回折光学素子を備えた光学系を含む露光装置、及び露光装置を用いたデバイスの製造方法

発明者：
石井 弘之

石井 弘之 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-010987
公開番号（公開出願番号）：特開2000-206321
出願日： 1999年01月19日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：
【要約】【課題】 極めて微細なパターンを必要とする高精度の光学素子と等価な光学的機能を容易且つ確実に実現し、不要回折光や迷光の発生を抑止して高い光学性能を持つ回折光学素子を提供する。【解決手段】 回折パターン31b,32bで接触するように位置合わせがなされて光学素子31,32を接合固定し、回折パターン31b,32bの両者の重畳作用により、回折パターンを構成する各段の部分を通る光線の光路長に着目すれば、実質的には8段状パターンを備えた回折光学素子と等価となるように回折光学素子21を構成する。
請求項（抜粋）：
複数のパターン形成面にそれぞれ階段状パターンが形成されており、前記各階段状パターンが光学的に重畳されて、全体として所期の8段以上の階段状パターンと同じ機能を有することを特徴とする回折光学素子。
IPC (4件)：
G02B 5/18 ,  G03F 7/22 ,  G03H 1/08 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G02B 5/18 ,  G03F 7/22 H ,  G03F 7/22 Z ,  G03H 1/08 ,  H01L 21/30 515 D
Fターム (40件)：
2H049AA03 ,  2H049AA04 ,  2H049AA33 ,  2H049AA37 ,  2H049AA45 ,  2H049AA48 ,  2H049AA55 ,  2H049AA63 ,  2H049AA64 ,  2H049AA68 ,  2H049CA01 ,  2H049CA07 ,  2H049CA17 ,  2H049CA23 ,  2H097AA11 ,  2H097AB05 ,  2H097CA12 ,  2H097CA13 ,  2H097EA01 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  2H097LA20 ,  2K008AA09 ,  2K008BB03 ,  2K008BB08 ,  2K008DD03 ,  2K008DD11 ,  2K008EE01 ,  2K008FF27 ,  2K008HH06 ,  2K008HH18 ,  2K008HH25 ,  5F046BA04 ,  5F046CA04 ,  5F046CA08 ,  5F046CB01 ,  5F046CB22 ,  5F046CB23 ,  5F046CB25 ,  5F046DA13
引用特許：
審査官引用 (1件)
  • 光学素子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-159363   出願人：松下技研株式会社, 技術研究組合新情報処理開発機構

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