特許
J-GLOBAL ID：200903098029593510
スライダヘッドの加工方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲本 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-110166
公開番号（公開出願番号）：特開平6-325527
出願日： 1993年05月12日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：
【要約】【目的】 スライダヘッドのアルミナ膜の削れ量及び形状の制御を容易にし、ヘッドの浮上特性を向上する。【構成】 スライダヘッド3のABS面に所定のパターン形状の凹部7を形成するとき、レジスト膜8の開口部8aの端部とアルミナ膜5の端面との位置をほぼ一致させる。またアルミナ膜5の側面に近接してダミー22を設けることにより、微粒子噴射加工時の微粒子によるアルミナ膜5の削れ量を制御する。
請求項（抜粋）：
記録媒体に情報の記録再生を行なうアルミナ膜が側面に設けられたセラミックス支持体からなるスライダヘッドの前記記録媒体に対向する面を、所定のパターン形状の開口部を有するレジスト膜で被覆し、前記レジスト膜面に微粒子を噴射して前記開口部に対向する面に凹部を形成するスライダヘッドの加工方法において、前記アルミナ膜が前記セラミックス支持体と接する端面と、前記レジスト膜の端部と、をほぼ一致させたことを特徴とするスライダヘッドの加工方法。
引用特許：
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