特許
J-GLOBAL ID：200903098047739220

マイクロ電気機械式可変コンデンサ

発明者：
アニル・ケイ・チンサキンディ

アニル・ケイ・チンサキンディ について


出願人/特許権者：
インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション

インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション について


代理人 (3件)： 坂口 博 ,  市位 嘉宏 ,  上野 剛史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-189588
公開番号（公開出願番号）：特開2006-019737
出願日： 2005年06月29日
公開日（公表日）： 2006年01月19日
要約：
【課題】 大きい静電容量変化及び同調範囲を示す多フィンガ相互嵌合3次元コーム駆動電極を用いるMEMS可変コンデンサを提供する。【解決手段】 同時に同じ基板上に形成された反対の極性の可動コーム電極が個別に作動される、3次元マイクロ電気-機械(MEMS)可変コンデンサが説明される。これらの電極は、デバイスの静電容量を最大にするために相互嵌合するように形成される。電極は、共同して又は個々に作動される。別個の作動電極及び接地平面電極が、可動電極を作動させる。2つの電極間の電位が、デバイスの主要な作動モードを与える。相互嵌合フィンガ間の側壁重なり面積の変化が、デバイスの期待された静電容量同調を与える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
マイクロ電気機械システム(MEMS)の可変コンデンサであって、 基板上に形成された固定電極と、 互いに対向する2つの可動ビームと、 を備え、前記可動ビームの各々は、それぞれその少なくとも一方の端部において前記基板に固定されており、前記可動ビームは、複数の導電性ビアによって相互に接続された同一平面上の金属ラインによって形成され、前記導電性ビア及び前記金属ラインは、絶縁材料の中に組み込まれており、前記可動ビームはさらに、前記絶縁材料の底面上に形成され前記固定電極に対向する下側電極を備え、静電容量が、互いに回転する前記2つの可動ビームの側壁重なり面積の関数として変化する、MEMS可変コンデンサ。
IPC (3件)：
H01G 7/00 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822
FI (2件)：
H01G7/00 Z ,  H01L27/04 V
Fターム (5件)：
5F038AC19 ,  5F038AC20 ,  5F038AV17 ,  5F038CA16 ,  5F038EZ20
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 米国特許第6,661,069号
  • 米国特許第6,635,506号
審査官引用 (1件)
  • 半導体装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-000976   出願人：株式会社ルネサステクノロジ, 株式会社ルネサスデバイスデザイン

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