特許
J-GLOBAL ID：200903098098945615

試料載置台の温度制御装置及び検査装置

発明者：
八田 政隆

八田 政隆 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-303898
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135315
出願日： 1996年10月29日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 冷却液の冷却による設備の大型化、冷却液の漏洩対策を省き、冷却設備のメンテナンスを行なわなくても良い載置台の温度整御装置及び検査装置。【解決手段】 本発明の資料載置台の温度制御装置30は、ウエハWを載置するメインチャック18を冷却する冷却手段31と、メインチャック18を加熱するヒータ32と、メインチャック18の温度を検出する温度センサ33と、温度センサ33の検出信号に基づいて冷却手段31及びヒータ32を制御する温度調節器34とを備え、冷却手段31として、電気的制御により受給気体から所定圧力の高圧気体を作って供給する電空レギュレータ36と、これから管内に接線方向に高圧気体を受給して生じる旋回流に基づいて低温気体を作って供給するボルテックスチューブ38とを設け、ボルテックスチューブ38からメインチャック18内に形成されたガス流路に低温気体を供給することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
試料を載置する載置台を冷却する冷却手段と、上記載置台を加熱する加熱手段と、上記載置台の温度を検出する温度検出手段と、この温度検出手段の検出信号に基づいて上記冷却手段及び上記加熱手段を制御する制御手段とを備えた試料載置台の温度制御装置において、上記冷却手段として、電気的制御により受給気体から所定圧力の高圧気体を作って供給する電空レギュレータと、この電空レギュレータから管内に接線方向に高圧気体を受給して生じる旋回流に基づいて低温気体を作って供給するボルテックスチューブとを設け、このボルテックスチューブから上記載置台内に形成されたガス流路に低温気体を供給することを特徴とする試料載置台の温度制御装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/66
FI (2件)：
H01L 21/68 N ,  H01L 21/66 H
引用特許：
審査官引用 (2件)

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