バーンイン装置及びバーンイン制御方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-200213
公開番号（公開出願番号）：特開2001-027659
出願日： 1999年07月14日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：

【要約】【課題】本発明はバーンイン装置及びバーンイン制御方法に関し、バーンインを行う半導体装置の総数が多い場合であっても高効率で正確なバーンインを実施することを課題とする。【解決手段】バーンイン装置を複数のバーンイン装置本体10-1,10-2と、これと独立した計数処理端末20とにより構成する。各バーンイン装置本体10-1,10-2は、装着された多数の半導体装置の個数である母数を計算すると共に、半導体装置を一括してバーンインして個々の半導体装置の良否を示す測定データを生成する。計数処理端末20は、複数のバーンイン装置本体10-1,10-2のそれぞれから母数及び測定データを一括的に集計する。そして、母数の総数である全体母数及び測定データに基づき故障率を計算し、故障率が所定値となった時に各バーンイン装置本体10-1,10-2のバーンインを一括して停止させる。

請求項（抜粋）：

装着された半導体装置の装着個数である母数を計算すると共に、該半導体装置を一括してバーンインすることにより該半導体装置の良否を示す測定データを生成する複数のバーンイン装置本体と、前記複数のバーンイン装置本体のそれぞれから前記母数及び前記測定データが送信され、送信された該母数から全体母数を演算すると共に、該全体母数と前記測定データに基づき故障率を計算し、該故障率が所定値となった時に前記各バーンイン装置本体のバーンインを停止させる計数処理端末とを具備することを特徴とするバーンイン装置。

IPC (2件)：

G01R 31/26 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 31/26 H , H01L 21/66 H

Fターム (16件)：

2G003AA07 , 2G003AC01 , 2G003AD02 , 2G003AF06 , 2G003AH01 , 2G003AH04 , 2G003AH05 , 2G003AH10 , 4M106AA04 , 4M106BA14 , 4M106BA20 , 4M106CA56 , 4M106DH46 , 4M106DJ18 , 4M106DJ20 , 4M106DJ39

引用特許：

出願人引用 (3件)

モニタード・バーイン装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-022526 出願人：日本電気株式会社
特開昭61-165670
特開昭59-188575

審査官引用 (3件)

モニタード・バーイン装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-022526 出願人：日本電気株式会社
特開昭61-165670
特開昭59-188575

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