特許

J-GLOBAL ID：200903098122514310

電子線分析装置

発明者： 丸井 隆雄
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 喜多 俊文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-378197
公開番号（公開出願番号）：特開2003-178707
出願日： 2001年12月12日
公開日（公表日）： 2003年06月27日
要約：

【要約】【課題】電子ビームが走査される領域の平均的X線スペクトルを正確に得る。【解決手段】走査されている電子ビームを試料に照射して得られる信号X線検出装置5からの信号は、Y方向走査の全期間で、かつ、電子ビームが試料表面上で等速的に走査されている期間だけ取り込むように、選別器11cで選別される。そして選別された信号のみをカウントしメモリ11eに記憶し、このデータの基づいてX線スペクトルを表示することで、電子ビームが照射されている領域の正しい平均的スペクトルを得ることができる。

請求項（抜粋）：

細く絞られた電子ビームを走査しながら試料表面に照射し試料から放射される信号に基づいて該試料表面の分析を行う電子線分析装置おいて、試料表面からの前記信号の測定を前記電子ビームの走査に同期して行う信号測定制御手段を備えることをを特徴とする電子線分析装置。

IPC (5件)：

H01J 37/252 ,  G01N 23/207 ,  G01N 23/225 ,  G01N 23/227 ,  G21K 5/04

FI (5件)：

H01J 37/252 A ,  G01N 23/207 ,  G01N 23/225 ,  G01N 23/227 ,  G21K 5/04 M

Fターム (17件)：

2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001BA09 ,  2G001BA18 ,  2G001CA03 ,  2G001DA06 ,  2G001FA21 ,  2G001GA01 ,  2G001GA04 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001HA03 ,  2G001HA13 ,  2G001JA03 ,  2G001KA01 ,  5C033PP04 ,  5C033PP06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平1-102839
  
• 走査形荷電粒子ビーム装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-162763   出願人：日本電子株式会社