特許

J-GLOBAL ID：200903098145446606

砥石検査装置

発明者： 道本 隆裕
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-307724
公開番号（公開出願番号）：特開2008-122273
出願日： 2006年11月14日
公開日（公表日）： 2008年05月29日
要約：

【課題】砥石の研削性能を的確に評価することができる砥石検査装置を提供する。【解決手段】使用前後の砥石1の画像を重ね合わせ、使用前後の一方の輝度データの画像をX、Y方向へずらして画像が重なり合っている部分の輝度値の差をそれぞれピクセル単位で計算し、その計算結果に基いてずれ量を算出する。その後、ずれ量に基いて砥石1の使用前後の座標位置を合わせ、ピクセル毎に輝度データを比較する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

砥石表面の異なる高さ位置における少なくとも輝度データをほぼ同じ場所で前記砥石の使用前後に取得する画像データ取得手段と、 前記画像データ取得手段によって取得された前記砥石表面の輝度データを記録する記録手段と、 前記記録手段から読み出された使用前後の輝度データの画像のうち、一方の輝度データの画像を所定方向へずらしながら両方の輝度データの相違量を演算し、その演算結果に基いて両方の輝度データの画像のずれ量を算出する算出手段と、 前記ずれ量に基いて一方の輝度データの画像と他方の輝度データの画像とを位置合わせして、使用前後の輝度データを比較する比較手段と を備えていることを特徴とする砥石検査装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  B24B 49/12 ,  G01B 11/02

FI (3件)：

G01B11/00 H ,  B24B49/12 ,  G01B11/02 H

Fターム (16件)：

2F065AA03 ,  2F065AA20 ,  2F065AA24 ,  2F065AA61 ,  2F065BB27 ,  2F065CC00 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF42 ,  2F065FF67 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ41 ,  3C034CA09 ,  3C034CA22

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 砥石検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-359669   出願人：株式会社ニコン