特許

J-GLOBAL ID：200903098152071510

FOUPへのFOUPドアの不適切挿入防止システム

発明者： ボノラ,アンソニー,シー. ,  ギャラガー,ゲイリー,エム. ,  エヌジー,マイケル
出願人/特許権者： エンテグリス ケイマン リミテッド
代理人 (2件)： 廣江 武典 ,  宇野 健一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-550295
公開番号（公開出願番号）：特表2004-525502
出願日： 2001年12月11日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：

ポッドドアとポッドの不適切な係合を防止する装置が開示されている。具体的には、ポッドドアに連結する少なくとも1本のラッチフィンガーとポッド内のラッチ係合スロットとのズレにより、ポッドドアがポッドと係合することが物理的に妨げられる。

請求項（抜粋）：

物品を格納・運搬するためのポッドであって、 ポッドドアと、 複数の配向性で該ポッドドアを受領する開口部およびラッチ係合スロットを含むポッド外殻と、 前記ポッドドア上に提供されており、該ポッドドアが前記ポッド外殻内の前記開口部内に前記複数の配向性から選択された1配向性で挿入された場合にのみ前記ラッチ係合スロットと係合するラッチ手段と、 を含むことを特徴とするポッド。

IPC (4件)：

H01L21/68 ,  B65D45/28 ,  B65D85/86 ,  E05B65/02

FI (4件)：

H01L21/68 T ,  B65D45/28 ,  E05B65/02 D ,  B65D85/38 R

Fターム (27件)：

3E084AA05 ,  3E084AA14 ,  3E084BA01 ,  3E084CA03 ,  3E084CB03 ,  3E084FA09 ,  3E084FC11 ,  3E084GA08 ,  3E084GB12 ,  3E084GB21 ,  3E084JA20 ,  3E096BA16 ,  3E096BA20 ,  3E096BB03 ,  3E096CA02 ,  3E096DA11 ,  3E096DA17 ,  3E096FA03 ,  3E096GA07 ,  3E096GA14 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031NA10 ,  5F031PA08 ,  5F031PA09

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 薄板収納・輸送容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-098420   出願人：株式会社柿崎製作所