特許

J-GLOBAL ID：200903098154272653

画像抽出装置および方法、並びにそれらを有する露光装置および方法

発明者： 宮下 朋之
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 伊東 哲也 ,  齋藤 和則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-084298
公開番号（公開出願番号）：特開2006-269651
出願日： 2005年03月23日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：

【課題】 検出すべき部分画像の類似度を高くしつつ、誤り領域の部分画像の類似度を低くするような内積に基づく類似度の高い部分画像を所定数抽出する。【解決手段】 ベクトル形式で表現されたテンプレートデータを要素とするテンプレートベクトルとベクトル形式で表現された部分画像の特徴データを要素とする部分画像特徴ベクトルとの内積に基づく類似度の高い複数個の部分画像を抽出するために、前記テンプレートベクトルの要素値と前記部分画像の特徴ベクトルの要素値との計量テンソルに基づく内積値を部分画像毎に算出する部分画像毎算出手段と、前記部分画像毎算出手段の内積値のn乗(nは1以上の整数)に基づく類似度を算出する類似度算出手段と、前記類似度に基づき部分画像を抽出する部分画像抽出手段とを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ベクトル形式で表現されたテンプレートデータであるテンプレートベクトルとベクトル形式で表現された部分画像の特徴データである部分画像の特徴ベクトルとの内積に基づきテンプレートと類似度の高い複数個の部分画像を抽出する画像抽出装置において、 前記テンプレートベクトルの要素値と前記部分画像の特徴ベクトルの要素値との計量テンソルに基づく内積値を部分画像毎に算出する部分画像毎算出手段と、 前記部分画像毎算出手段の内積値のn乗(nは1以上の整数)に基づく類似度を算出する類似度算出手段と、 前記類似度に基づき部分画像を抽出する部分画像抽出手段と を有することを特徴とする画像抽出装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  G06T 1/00 ,  G06T 7/00

FI (4件)：

H01L21/30 525W ,  G03F9/00 H ,  G06T1/00 305B ,  G06T7/00 300E

Fターム (16件)：

5B057AA03 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB18 ,  5B057CC02 ,  5B057CD01 ,  5B057DA01 ,  5B057DA06 ,  5B057DA12 ,  5F046FC04 ,  5L096BA03 ,  5L096DA02 ,  5L096EA11 ,  5L096HA08 ,  5L096JA05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 画像処理方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-267908   出願人：キヤノン株式会社