特許

J-GLOBAL ID：200903098204105486

静電マイクロリレー

発明者： 坂田 稔 ,  古村 由幸
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-286602
公開番号（公開出願番号）：特開2000-113792
出願日： 1998年10月08日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】 小型で良好な高周波特性とする。【解決手段】 固定電極12を、信号線13,14の両側に等距離で設けると共に、高周波GND電極と共用する。

請求項（抜粋）：

固定基板の固定電極と、固定基板に弾性支持部を介して支持した可動基板の可動電極との間に発生させる静電引力に基いて可動基板を駆動し、固定基板に形成した少なくとも2つの信号線にそれぞれ設けた固定接点に、前記可動基板に絶縁膜を介して形成した可動接点を接離することにより、前記信号線を電気的に開閉するようにした静電マイクロリレーにおいて、前記固定電極を、信号線の両側に等距離で設けると共に、高周波GND電極と共用したことを特徴とする静電マイクロリレー。

IPC (2件)：

H01H 59/00 ,  B62D 57/00

FI (2件)：

H01H 59/00 ,  B62D 57/00 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 高周波信号用スイッチを含む移相器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-284005   出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
• マイクロリレー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-319100   出願人：オムロン株式会社