マイクロリレー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-319100
公開番号（公開出願番号）：特開平10-162713
出願日： 1996年11月29日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】所望の接点圧と接点間距離とを同時に確保しつつ、接点がオンするときの抵抗が小さく、耐振性,周波数特性,絶縁性に優れた超小型マイクロリレーを提供することにある。【解決手段】単結晶シリコンの薄板状基材からなり、かつ、一方に湾曲するように両端部を固定支持した可動部23の表裏面中央部に可動接点25および27をそれぞれを設ける。一方、この可動接点25および27に接離可能に対向する一対の固定接点31,32および11,12を、前記可動部23に対向する固定基板30および10の対向面にそれぞれ形成するとともに、前記固定接点31,32および11,12の周囲近傍に駆動電極33,34および13,14をそれぞれ設ける。

請求項（抜粋）：

単結晶の薄板状基材からなり、一方に湾曲するように少なくとも両端部を固定支持した可動部の表裏面のうち、少なくとも片面中央部に可動接点を設ける一方、この可動接点に接離可能に対向する一対の固定接点を、前記可動部に対向する固定基板の対向面に形成するとともに、前記固定接点の周囲近傍に駆動手段を設けたことを特徴とするマイクロリレー。

IPC (2件)：

H01H 59/00 , H01L 41/09

FI (2件)：

H01H 59/00 , H01L 41/08 C

引用特許：

審査官引用 (8件)

膜連結による双安定マイクロアクチュエータ
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-528164 出願人：フラウンホーファー-ゲゼルシャフトツールフェルデルングデァアンゲヴァンテンフォルシュングアインゲトラーゲネルフェライン
高周波信号用スイッチを含む移相器
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-284005 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
梁およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-009467 出願人：シャープ株式会社

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