特許
J-GLOBAL ID：200903098259881744
基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 孝雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-299671
公開番号（公開出願番号）：特開平10-124322
出願日： 1996年10月23日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 基板処理装置の構成機器を制御する制御プログラムの更新を容易に実施可能とする。【解決手段】 基板処理装置の装置起動時に、各スレーブコントローラはそれぞれのプログラムの保持状態をチェックし、その結果をマスタコントローラにLAN回線を介して通知する(S102b)。マスタコントローラは、プログラムの保持状態が異常なスレーブコントローラに対して、LAN回線を介して正常なプログラムを送信し(S105a)、スレーブコントローラは正常なプログラムを受信して記憶保持する(S105b)。
請求項（抜粋）：
基板処理装置であって、前記基板処理装置に備えられた複数の構成装置の動作をそれぞれ制御する複数のスレーブコントローラと、前記複数のスレーブコントローラの動作を制御するマスタコントローラと、前記複数のスレーブコントローラと前記マスタコントローラとを相互に接続するネットワーク回線と、を備え、前記複数のスレーブコントローラのそれぞれは、書き換え可能なメモリ領域を有するメインメモリを備えており、前記基板処理装置は、さらに、前記複数のスレーブコントローラそれぞれで実行される制御プログラムを、前記ネットワーク回線を介して、前記マスタコントローラから前記複数のスレーブコントローラの少なくとも一つに対して送信して、前記スレーブコントローラの前記メインメモリに前記制御プログラムを記憶させるプログラム転送手段、を備えることを特徴とする基板処理装置。
IPC (4件)：
G06F 9/445
, H01L 21/02
, H01L 21/027
, H01L 21/68
G06F 9/06 420 M
, H01L 21/02 Z
, H01L 21/68 A
, G06F 9/06 420 K
, H01L 21/30 502 G
