レンズの特性評価装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-243094
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140039
出願日： 1993年09月29日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】レンズ評価に伴って発生する誤差を抑えて正確なレンズ評価を迅速に行うことができるレンズの特性評価装置の提供を目的とする。【構成】紫外レーザ光源出射部10からの光を収束レンズ11で理想的な点光源にして光検出器16で特性評価用パターンが形成されたウェハ14の面からの反射強度を検出してスペクトラムアナライザ17で周波数解析する。

請求項（抜粋）：

露光光源からの光をレンズで透過させ特性評価用パターンに結像させて上記レンズの特性を評価するレンズの特性評価装置において、上記露光光源からの光を集光して点光源にする収束レンズと、上記レンズに対して上記特性評価用パターンを相対的に移動させる移動手段と、該移動手段による移動に伴って走査される上記特性評価用パターンが形成された面からの被測定物を介した反射光強度の変化を検出する検出手段と、該検出手段からの検出結果から周波数解析して光学的な伝達関数を測定する解析手段とを有することを特徴とするレンズの特性評価装置。

IPC (3件)：

G01M 11/00 , H01L 21/027 , H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭52-063755
特開昭52-063755
特開平4-313042

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