特許

J-GLOBAL ID：200903098315232800

複合荷電粒子ビーム装置

発明者： 大井 將道
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-137120
公開番号（公開出願番号）：特開平11-329320
出願日： 1998年05月19日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：

【要約】【課題】 残留磁場による集束イオンビームの質量分離の防止及び電子ビームのフォーカスの再現性の向上。【解決手段】 同一の試料室に集束イオンビーム鏡筒と電子ビーム鏡筒を備え、電子ビーム鏡筒の対物レンズの残留磁気を消磁する電磁気的手法と電子ビーム鏡筒の対物レンズの励磁電流値を記憶する機能を備えたことを特徴とする複合荷電粒子ビーム装置。そして集束イオンビームに切り替えるタイミングで電子ビーム鏡筒の対物レンズの残留磁気を消磁する。

請求項（抜粋）：

同一の試料室に、少なくとも1式以上の集束イオンビーム鏡筒と、少なくとも1式以上の電子ビーム鏡筒を備えた複合荷電粒子ビーム装置において、電子ビーム鏡筒の対物レンズの近傍に消磁機能をもった消磁コイルと、電子ビーム鏡筒の対物レンズの励磁電流値を記憶する機能を備えたことを特徴とする複合荷電粒子ビーム装置。

IPC (2件)：

H01J 37/10 ,  H01J 37/28

FI (2件)：

H01J 37/10 ,  H01J 37/28 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-076437
  
• 特開平3-263746
  
• オージェ電子分光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-221621   出願人：日本電子株式会社
• 特開昭63-264856