異物検査方法および装置

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：梶原辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-179605
公開番号（公開出願番号）：特開平11-352073
出願日： 1998年06月11日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】効率よく致命不良を捕捉し、異物のサイズ、形状を検査する。【解決手段】ウエハにおいて散乱光検出装置によって予め特定された被検査対象である異物の座標位置を明視野照明下で撮像して異物画像を取得し、ウエハにおいて異物の有するチップに隣接したチップの同一位置を明視野照明下で撮像して比較対象画像を取得し、異物画像と比較対象画像との差画像を取得する。この差画像の分割の有無および状況に基づいて異物による致命不良の有無を判定する。【効果】致命不良を判定できるため、異物検査方法の利用効率を高めることができる。

請求項（抜粋）：

被検査物において予め指定された被検査対象座標位置を明視野照明下で撮像して被検査対象画像を取得する被検査対象画像取得工程と、被検査物において被検査対象座標と対応する比較対象座標位置を明視野照明下で撮像して比較対象画像を取得する比較対象画像取得工程と、被検査対象画像と比較対象画像との差画像を取得する差画像取得工程と、差画像の分割の有無および状況に基づいて被検査対象座標位置の致命不良の有無を判定する判定工程と、を備えていることを特徴とする異物検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G01B 11/30 , H01L 21/66

FI (4件)：

G01N 21/88 E , G01B 11/30 D , H01L 21/66 J , H01L 21/66 Z

引用特許：

審査官引用 (7件)

ウエハ検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-009607 出願人：日本電気株式会社
特開昭63-186132
表面欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-235507 出願人：富士ゼロックス株式会社

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