特許
J-GLOBAL ID:200903098347667132
光分波器および受光素子アレイ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩佐 義幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-322004
公開番号(公開出願番号):特開2001-141566
出願日: 1999年11月12日
公開日(公表日): 2001年05月25日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 分波光と受光素子との位置合わせを高精度で行え、かつ、光分波器の分解能を向上できる光分波器の受光素子アレイを提供する。【解決手段】 受光素子アレイ18は、受光素子を2列に半ピッチずらして千鳥状に配列して構成されている。一方の列の受光素子を、R1 ,R3 ,R5 ,R7,R9 ...で示し、他方の列の受光素子を、R2 ,R4 ,R6 ,R8 ...で示している。受光素子R1 ,R3 ,R5 ,R7 ,R9 ...は、これらに対向するように設けられたボンディングパッド20に、配線22によりそれぞれ接続されている。一方、受光素子R2 ,R4 ,R6 ,R8 ...は、これらに対向するように設けられたボンディングパッド24に、配線26によりそれぞれ接続されている。
請求項(抜粋):
波長多重された光を分波し、分波光のスペクトルをモニタする光分波器の受光素子アレイにおいて、受光素子が2列に半ピッチずらして千鳥状に配列されていることを特徴とする受光素子アレイ。
IPC (3件):
G01J 3/18
, H01L 27/14
, H01L 31/0232
FI (3件):
G01J 3/18
, H01L 27/14 J
, H01L 31/02 D
Fターム (16件):
2G020CB03
, 2G020CC02
, 2G020CC63
, 2G020CD03
, 2G020CD06
, 4M118AA10
, 4M118AB04
, 4M118AB05
, 4M118BA03
, 5F088AA01
, 5F088BA20
, 5F088BB01
, 5F088EA02
, 5F088JA11
, 5F088JA12
, 5F088JA14
引用特許:
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