特許

J-GLOBAL ID：200903098366089816

光スキャナ駆動方法、および光スキャナ駆動装置

発明者： 佐々木 幸基
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (2件)： 本多 章悟 ,  樺山 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-059714
公開番号（公開出願番号）：特開2007-240626
出願日： 2006年03月06日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：

【課題】ポリゴンミラーに代わる光走査装置として、シリコンマイクロマシニング技術を利用した微小ミラーを揺動させる構成のマイクロミラーディバイスが提案されている。この駆動方式の1つとして、静電駆動方式がある。変動量を大きくするため、櫛歯形電極構造が優れているが、本来の揺動方向に直交する方向に振動が発生すると、櫛歯同士が接触して隣合う櫛歯間で吸着する現象があり、問題視されている。【解決手段】電極間に与える電圧の駆動信号を、起動モードにおいては、駆動信号D、CBのように、可動板の揺動幅が小さい駆動信号から順に、所定時間内に変化させながら与え、定常駆動モードにおいては、最大の揺動幅が得られる駆動信号Aに切り替える。本来の揺動方向に直交する方向の振動は駆動信号D、C、B、Aの順に小さくなるので、定常モードにおいては櫛歯間の吸着問題は発生しない。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

少なくとも中央部を含む部分に反射ミラーを有し、重心を含む1本の軸方向両端に捻り変位可能な支持部材を有する平板状の可動部材と、前記支持部材に連結し、前記可動部材の周囲を非接触で取り囲むように設けられ、1面が前記駆動部材の反射ミラー面とほぼ同一面になるよう構成した固定部材とからなり、前記可動部材のうち、前記軸方向とは直交する方向の可動部材端部付近に可動電極を、前記可動部材端部付近に対向する固定部材の固定部材端部付近に固定電極を設け、前記両電極の間に電圧を印加して、両電極間に発生する静電力によって前記可動部材を揺動可能とする光スキャナを駆動する駆動方法において、前記両電極の間に印加する電圧の駆動信号として複数種の信号波形状の駆動信号を用いることを特徴とする光スキャナ駆動方法。

IPC (5件)：

G02B 26/10 ,  G02B 26/08 ,  H04N 1/113 ,  B81B 7/02 ,  B81B 3/00

FI (5件)：

G02B26/10 104Z ,  G02B26/08 E ,  H04N1/04 104Z ,  B81B7/02 ,  B81B3/00

Fターム (20件)：

2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ05 ,  2H045AB10 ,  2H045AB16 ,  2H045AB23 ,  2H045AB26 ,  2H045AB38 ,  2H045AB62 ,  2H045AB73 ,  5C072AA01 ,  5C072AA03 ,  5C072BA13 ,  5C072HA01 ,  5C072HA14 ,  5C072HB15 ,  5C072XA01 ,  5C072XA05 ,  5C072XA10

引用特許：

出願人引用 (4件)

• アクチュエータ駆動装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-257991   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• ガルバノミラー及びそれを用いた光ディスク装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-292914   出願人：株式会社東芝
• 特許第3011144号公報
  
• 特許第3006178号公報