特許
J-GLOBAL ID：200903098521990843
透過型電子顕微鏡及び元素分布観察方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-322721
公開番号（公開出願番号）：特開平8-222169
出願日： 1995年12月12日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【課題】実時間で特定元素の二次元分布像を表示することが可能な、エネルギーフィルタを装備した透過型電子顕微鏡を提供する。【解決手段】エネルギーフィルタ6を装備した透過型電子顕微鏡1にTVカメラ8を装備し、2種類のエネルギーロス像をそれぞれ別のフレームメモリ11a,11bに記録できるようにする。画像データに対しバックグラウンド処理を行うために、一方のフレームメモリ11bに記録される画像強度は波高調整機構12により一定の比率で減衰する。画像演算器14により、各フレームメモリ11a,11bに記憶された画像データの差分が映像信号としてモニター15に出力される。
請求項（抜粋）：
電子銃と、前記電子銃から射出された電子線を試料に照射する照射電子光学系と、試料を透過した電子線を結像する結像電子光学系と、前記試料透過後の電子線をエネルギー分光するエネルギーフィルタと、エネルギー分光された電子線のうち特定のエネルギーを有する電子線のみを選択する手段と、エネルギー選択された電子線による像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって撮像されたエネルギー選択像を記憶するための複数枚のフレームメモリと、前記フレームメモリを周期的に選択して選択されたフレームメモリに前記撮像手段によって撮像された画像を記憶させるフレームメモリ選択手段と、前記フレームメモリ選択手段によるフレームメモリの選択と同期して電子線の加速電圧を変更する手段と、前記フレームメモリのうちの少なくとも2枚に記憶された画像をその画素毎に比較演算し、画像信号として出力する手段を備えたことを特徴とする透過型電子顕微鏡。
IPC (2件)：
H01J 37/22 501
, H01J 37/05
H01J 37/22 501 A
, H01J 37/05
