特許

J-GLOBAL ID：200903098554069644

複合構造物とその製造方法および複合構造物形成用脆性材料粒子

発明者： 鳩野 広典 ,  清原 正勝 ,  森 勝彦 ,  横山 達郎 ,  吉田 篤史 ,  伊藤 朋和 ,  安田 基 ,  辻道 万也 ,  山口 香緒里 ,  明渡 純
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  東陶機器株式会社
代理人 (1件)： 小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-314449
公開番号（公開出願番号）：特開2003-119574
出願日： 2001年10月11日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】 脆性材料粒子を高速で基板に衝突させ、この衝突により、基板上に脆性材料構造物を形成させる複合構造物の形成に関する不具合を解消してエッチングによる欠損部分をなくし、また構造物の形成速度の向上が可能となる脆性材料微粒子およびこれを用いて作製された脆性材料構造物とその製造方法を提供する【解決手段】 原料の脆性材料粒子粉体に熱や熱風等を加える方法によりそれに含まれる水分の量を抑制することで、その水分量を0.45%以下あるいは0.40%以下としたことにより原料粉体の凝集が少なく安定したエアロゾルが得られ、その発生量も制御し易くした。水分量0.45%以下になると構造物の形成が可能で、かつエッチング等による構造物の剥離も見られにくくなり、均質な性状の膜を得る事が出来る。更に望ましくは水分量0.40%以下においては均質な性状の構造物をより速い形成速度で得る事が出来る。

請求項（抜粋）：

水分量が0.45%以下の脆性材料粒子を高速で基板に衝突させ、この衝突により、基板上に脆性材料からなる構造物を形成させることを特徴とする複合構造物の製造方法。

Fターム (10件)：

4K044AA06 ,  4K044AB05 ,  4K044BA12 ,  4K044BA13 ,  4K044BA18 ,  4K044BB01 ,  4K044BC06 ,  4K044CA23 ,  4K044CA29 ,  4K044CA53

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 脆性材料超微粒子成形体の低温成形法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-123047   出願人：工業技術院長
• 超微粒子成膜法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-210765   出願人：工業技術院長
• 複合構造物の作製方法および作製装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-310585   出願人：経済産業省産業技術総合研究所長, 東陶機器株式会社