特許
J-GLOBAL ID：200903098579704433
液体試料の吸引装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小山 有 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-054947
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243419
出願日： 1996年03月12日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 摩耗による試料液体の漏れや汚染が発生する場合があり、また連続吸引が容易でなく、ガスロック現象が発生する場合がある。【解決手段】 洗浄液2の汚染度合いを検査する粒子検出装置7に洗浄液2を吸引する吸引装置であって、洗浄液2の吸引口と作動流体の供給口及び排出口を有するアスピレータ10を備え、粒子検出装置7の排出口に吸引口を接続し、作動流体を供給口から所定圧力で供給すると共に排出口から排出することによって、粒子検出装置7に流入する洗浄液2の流量を調整する。
請求項（抜粋）：
液体試料の粒度分布などを測定する測定装置に前記液体試料を吸引する吸引装置であって、前記液体試料の吸引口と作動流体の供給口及び排出口を有するアスピレータを備え、前記測定装置の排出口に前記吸引口を接続し、前記作動流体を前記供給口から所定圧力で供給すると共に前記排出口から排出することによって、前記測定装置に流入する前記液体試料の流量を調整することを特徴とする液体試料の吸引装置。
IPC (5件)：
G01F 1/42
, F04F 5/10
, G01N 1/00 101
, G01N 15/00
, H01L 21/304 341
G01F 1/42 Z
, F04F 5/10 F
, G01N 1/00 101 M
, G01N 15/00 C
, H01L 21/304 341 S
