真空内駆動装置およびこれを用いた基板搬送装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：加藤久 , 石田和人 , 堀田幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-062446
公開番号（公開出願番号）：特開2004-274889
出願日： 2003年03月07日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：

【課題】モータのリード線、信号線等を真空チャンバ内で引き回すことなく、パーティクルの発生のない、簡単な構成の真空内駆動装置およびこれを用いた基板搬送装置を提供する。【解決手段】真空チャンバの壁面5の大気側に第1可動子8を、真空側に第2可動子11をそれぞれ移動自在に配置し、大気側に第2可動子11と磁気的ギャップを介して電機子3を配置する。第1可動子8には、真空チャンバに対する第1可動子8の移動方向の位置を検出するエンコーダ12,13を設け、第1可動子8と第2可動子11との間の位相ずれを検出する磁気センサ4を設け、第2可動子11が第1可動子8と位置ずれなく駆動されるように制御する。真空チャンバの内部には第2可動子11と軸受のみが配置され、リード線を有する電機子や配線を伴う位相差検出手段およびエンコーダは真空チャンバの外部に配置されるため、真空チャンバ内でのパーティクルの発生は著しく少なくなる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

真空チャンバの壁面に対向する大気側に設けられ、かつ、摺動部を介して移動自在に配置された界磁を有する第1可動子と、前記真空チャンバの壁面を介して真空側に摺動部を介して移動自在に配置された界磁を有する第2可動子と、前記真空チャンバの壁面の大気側に固定され、前記第1可動子と磁気的ギャップを介して対向配置された電機子からなる固定子とよりなる駆動部と、前記第1可動子に設けられ、前記真空チャンバに対する前記第1可動子の移動方向の位置を検出するエンコーダと、前記第1可動子に設けられ、前記第1可動子と前記第2可動子との間の位相ずれを検出する位相差検出手段とを備え、位置指令信号に対して前記エンコーダで検出された前記第1可動子の位置指令に一致するように前記電機子に電力を供給すると共に、前記位相差検出手段で検出された位相差を抑制するように前記位置指令信号を補正する制御手段を設けたことを特徴する真空内駆動装置。

IPC (5件)：

H02K41/03 , H01L21/68 , H02K16/02 , H02K41/02 , H02P7/00

FI (5件)：

H02K41/03 A , H01L21/68 A , H02K16/02 , H02K41/02 C , H02P7/00 101B

Fターム (39件)：

5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031GA10 , 5F031GA12 , 5F031GA48 , 5F031JA05 , 5F031JA22 , 5F031JA32 , 5F031LA08 , 5F031NA05 , 5F031PA26 , 5H540AA01 , 5H540BA03 , 5H540BA05 , 5H540BB01 , 5H540BB06 , 5H540BB09 , 5H540EE05 , 5H540FA03 , 5H540FA04 , 5H540FA14 , 5H641BB06 , 5H641BB19 , 5H641GG02 , 5H641GG05 , 5H641GG12 , 5H641GG24 , 5H641GG26 , 5H641GG28 , 5H641GG29 , 5H641HH03 , 5H641HH05 , 5H641HH06 , 5H641HH14 , 5H641HH20 , 5H641JA03 , 5H641JA09 , 5H641JB10

引用特許：

審査官引用 (1件)

磁気的に結合された搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-228326 出願人：株式会社日立製作所

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