特許
J-GLOBAL ID：200903098586343136
陽電子ビーム分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-185522
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033461
出願日： 1995年07月21日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【課題】 試料の特定部分の陽電子分析が容易で、しかも画質の良好な陽電子分析像を得ることが可能な陽電子ビーム分析装置を提供する。【解決手段】 試料S表面に陽電子ビームを照射したときに発生する二次電子(またはオージェ電子)を検出すると、その検出信号の強度から試料表面に関する情報を収集することができ、しかも、その試料表面に関する情報を、陽電子分析の情報を得るための陽電子ビーム自体で得ることにより、これら陽電子分析の情報と試料表面に関する情報とが完全に対応するとともに、充分な陽電子ビーム強度を確保した状態での測定が可能となる結果、所期の目的を達成できる。
請求項（抜粋）：
陽電子ビームをプローブとして用いた分析装置において、陽電子ビームを試料表面にビーム集束・走査系を介して照射したときに発生する二次電子またはオージェ電子を検出する電子検出器を備え、その検出出力を試料表面に関する情報として用いるように構成されていることを特徴とする陽電子ビーム分析装置。
引用特許：
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