特許
J-GLOBAL ID:200903098593129212
感光性樹脂組成物、LCD基板及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-031308
公開番号(公開出願番号):特開2007-034257
出願日: 2006年02月08日
公開日(公表日): 2007年02月08日
要約:
【課題】 感度、耐熱性、解像度などの性能が優れているだけでなく、特に常温貯蔵安定性及び透過率を顕著に向上させてLCD製造工程の層間絶縁膜を形成するのに適合した感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 本発明による感光性樹脂組成物は、a)i)不飽和カルボン酸、不飽和カルボン酸無水物、又はこれらの混合物、ii)ヒドロキシ基含有オレフィン系不飽和化合物、iii)オレフィン系不飽和化合物を共重合させた後、未反応単量体を除去して得られたアクリル系共重合体;b)1,2-キノンジアジド化合物;c)化学式1〜6のうちのいずれか一つで表示されるエポキシ系化合物;及びd)溶媒を含むことを特徴とする。
請求項(抜粋):
感光性樹脂組成物であって、
a)i)不飽和カルボン酸、不飽和カルボン酸無水物、又はこれらの混合物、
ii)ヒドロキシ基含有オレフィン系不飽和化合物
iii)オレフィン系不飽和化合物
を共重合させた後、未反応単量体を除去して得られたアクリル系共重合体;
b)1,2-キノンジアジド化合物;
c)下記の式(1)〜(6)
IPC (3件):
G03F 7/023
, G03F 7/004
, H01L 21/027
FI (3件):
G03F7/023
, G03F7/004 501
, H01L21/30 502R
Fターム (17件):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA10
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB10
, 2H025CB14
, 2H025CB43
, 2H025CB45
, 2H025CB55
, 2H025CC03
, 2H025CC04
, 2H025CC06
, 2H025CC20
引用特許:
出願人引用 (2件)
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感放射線性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-039925
出願人:日本合成ゴム株式会社
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特開昭60-166675
審査官引用 (1件)
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