特許

J-GLOBAL ID：200903098620520298

単結晶引上げ装置

発明者： 佐藤 信幸
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-014513
公開番号（公開出願番号）：特開2000-211989
出願日： 1999年01月22日
公開日（公表日）： 2000年08月02日
要約：

【要約】【課題】アイソレーションバルブ手段等のクリーニングが容易で、作業者に負担がかからず、引上げ装置の据え付けスペースも小さく、生産性向上に寄与する単結晶引上げ装置を提供する。【解決手段】ルツボ5を加熱する加熱手段7が収納された主チャンバ2と、単結晶を引上げる引上げ手段9が設けられた副チャンバ3とを仕切るアイソレーションバルブ手段4を設けた単結晶引上げ装置1において、バルブ手段4は両チャンバ2、3間に設けられた連通口10を開閉するアイソレーションバルブ11と、このアイソレーションバルブ11が水平移動可能に形成されたバルブ収納部12と、このバルブ収納部12の一側壁12sにアイソレーションバルブ11が出入り可能に形成された開口部13と、この開口部13を閉塞するように着脱自在に取付けられ、開口部13の開放時、蓋体14の回転スペース減少手段19を介してバルブ収納部12に枢着された蓋体14と有する単結晶引上げ装置。

請求項（抜粋）：

半導体原料を溶融するルツボとこのルツボを加熱する加熱手段とが収納された主チャンバと、前記ルツボ内から種結晶により単結晶を引上げる引上げ手段が設けられた副チャンバとを有し、前記両チャンバ間に両チャンバを仕切るようにアイソレーションバルブ手段を設けた単結晶引上げ装置において、前記アイソレーションバルブ手段は前記両チャンバ間に設けられた連通口を開閉するアイソレーションバルブと、このアイソレーションバルブが水平移動可能に形成されたバルブ収納部と、このバルブ収納部の一側壁にアイソレーションバルブが出入り可能に形成された開口部と、この開口部を閉塞するように着脱自在に取付けられ、前記開口部の開放時、蓋体の回転スペース減少手段を介してバルブ収納部に枢着された蓋体とを有することを特徴とする単結晶引上げ装置。

IPC (2件)：

C30B 15/00 ,  C30B 29/06 502

FI (2件)：

C30B 15/00 Z ,  C30B 29/06 502 Z

Fターム (6件)：

4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG25 ,  4G077EG28 ,  4G077PA16

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平2-252687
  
• 特開昭51-077064
  
• 単結晶引上げ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-054303   出願人：株式会社小松製作所

審査官引用 (3件)

• 特開平2-252687
  
• 特開昭51-077064
  
• 単結晶引上げ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-054303   出願人：株式会社小松製作所