特許
J-GLOBAL ID:200903098629252563

ガスバリア膜及び容器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 酒井 宏明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-268957
公開番号(公開出願番号):特開2006-111967
出願日: 2005年09月15日
公開日(公表日): 2006年04月27日
要約:
【課題】アモルファスカーボン膜中のダングリングボンドを水素以外の元素により積極的に終端させ、ガスバリア性を向上させたガスバリア膜及び該膜を有する容器を提供する。【解決手段】本発明のガスバリア膜は、基材上の少なくとも片面に形成され、ガスバリア性を有するアモルファスカーボン膜であって、膜中の窒素濃度が0.5原子%以上5.0原子%以下とする。又は第2のアモルファスカーボン膜は、基材上の少なくとも片面に形成され、ガスバリア性を有するアモルファスカーボン膜であって、膜中の酸素濃度が0.1原子%以上2.0原子%以下とする。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
基材上の少なくとも片面に形成され、ガスバリア性を有するアモルファスカーボン膜であって、 膜中の窒素濃度が0.5原子%以上5.0原子%以下であることを特徴とするガスバリア膜。
IPC (2件):
C23C 16/27 ,  B65D 23/02
FI (2件):
C23C16/27 ,  B65D23/02 Z
Fターム (25件):
3E062AA09 ,  3E062AB02 ,  3E062AC02 ,  3E062AC06 ,  3E062JA01 ,  3E062JA07 ,  3E062JB24 ,  3E062JC01 ,  3E062JD01 ,  4K030AA09 ,  4K030AA14 ,  4K030AA18 ,  4K030BA28 ,  4K030BA43 ,  4K030BA44 ,  4K030CA05 ,  4K030CA06 ,  4K030CA07 ,  4K030CA08 ,  4K030CA12 ,  4K030CA15 ,  4K030FA03 ,  4K030JA06 ,  4K030LA11 ,  4K030LA24
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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