特許

J-GLOBAL ID：200903098631867206

単結晶引上げ装置のヒータ取付構造

発明者： 内藤 宣正 ,  前田 浩二 ,  竹村 正義
出願人/特許権者： 三菱マテリアルシリコン株式会社
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-032192
公開番号（公開出願番号）：特開2000-233989
出願日： 1999年02月10日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：

【要約】【課題】 ナットが弛んでもヒータの着座部と中間電極との接触面積の減少を阻止することにより、着座部及び中間電極間の電流密度の増大及び放電の発生を防止し、着座部及び中間電極の損傷を防止する。【解決手段】 チャンバ内には半導体融液を貯留するるつぼを囲むようにヒータ16が設けられる。ヒータには複数の脚部31がチャンバ13の底壁13aに向って突設され、脚部の下端には着座部41が水平方向に延びて設けられる。中間電極24の上面から突設された中間電極用雄ねじ部24bは着座部に挿通され、中間電極用雄ねじ部にはナット28が螺合される。中間電極の下端は下部電極26及び絶縁スリーブ27を介してチャンバの底壁に取付けられ、着座部は中間電極を介して下部電極に電気的に接続される。中間電極の上面は着座部の下面のうち少なくとも脚部の中心線Gを含む部分を受けるように構成される。

請求項（抜粋）：

チャンバ(13)内で半導体融液(14)を貯留するるつぼ(12)を囲むようにヒータ(16)が設けられ、前記ヒータ(16)に複数の脚部(31,33)が前記チャンバ(13)の底壁(13a)に向って突設され、前記脚部(31,33)の下端に着座部(41,43)が水平方向に延びて設けられ、中間電極(24)の上面から突設された中間電極用雄ねじ部(24b)が前記着座部(41,43)に挿通されてこの中間電極用雄ねじ部(24b)にナット(28)が螺合され、前記中間電極(24)の下端が下部電極(26)及び絶縁スリーブ(27)を介して前記チャンバ(13)の底壁(13a)に取付けられ、前記着座部(41,43)が前記中間電極(24)を介して前記下部電極(26)に電気的に接続された単結晶引上げ装置のヒータ取付構造において、前記中間電極(24)の上面が前記着座部(41,43)の下面のうち少なくとも前記脚部(31,33)の中心線(G)を含む部分を受けるように構成されたことを特徴とする単結晶引上げ装置のヒータ取付構造。

Fターム (7件)：

4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077BE46 ,  4G077CF10 ,  4G077EG18 ,  4G077EJ02 ,  4G077PE27

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 単結晶引上装置におけるヒーター電極構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-257554   出願人：三菱マテリアルシリコン株式会社, 三菱マテリアル株式会社
• 特開昭52-026517
  
• 特開昭53-142386