単結晶引上装置におけるヒーター電極構造

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-257554
公開番号（公開出願番号）：特開平10-087393
出願日： 1996年09月06日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：

【要約】【課題】中間電極へのクラック発生を未然に防止することのできる、単結晶引上装置におけるヒーター電極構造を提供する。【解決手段】ヒーター104はルツボを囲むように設けられ、このヒーター104にはグラファイト製の中間電極16が接続され、この中間電極16を、冷却水通路15dを有する導電性金属電極15で支持している。導電性金属電極15の上端部には雄ねじ15eが形成されており、中間電極16の下端部は大径部16cになっている。グラファイト製のナット部材17が導電性金属電極15の雄ねじ15eに螺合され、ナット部材17の上端の突出部17bで中間電極16の大径部16cを導電性金属電極15の大径部15aに押圧する。ヒーター104の径方向への熱膨張に起因して、ナット部材17が熱応力により破断する場合があるが、中間電極16の導電性金属電極15への結合部にクラックが入らない。

請求項（抜粋）：

気密容器と、前記気密容器内で半導体融液を貯留するルツボと、前記ルツボを囲むように設けられたヒーターと、前記ヒーターに接続されたグラファイト製の一対の中間電極にそれぞれ結合された、冷却水通路をそれぞれ有する一対の導電性金属電極とを備えた単結晶引上装置において、前記導電性金属電極の上端部には雄ねじが形成されており、前記中間電極の下端部は大径部になっており、その下端面は、前記導電性金属電極の上端面に一様に当接するように載置され、さらに、上端部内周に突出部を有するグラファイト製のナット部材が、前記中間電極の大径部に挿通され、かつ前記導電性金属電極の前記雄ねじに螺合されていることで、前記ナット部材の前記突出部により、前記中間電極の前記大径部を前記導電性金属電極に押圧するような構成になっていることを特徴とする、単結晶引上装置におけるヒーター電極構造。

IPC (5件)：

C30B 15/14 , C30B 29/06 502 , C30B 29/42 , H01L 21/208 , H05B 3/00 330

FI (5件)：

C30B 15/14 , C30B 29/06 502 E , C30B 29/42 , H01L 21/208 P , H05B 3/00 330 Z

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭63-303894
特開平4-305091
加熱炉
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-317728 出願人：東レ株式会社

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